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半導体・液晶製造装置向け機構部品

半導体・液晶製造装置に最適な機構部品をご紹介/スガツネ工業

スマートフォンから電気自動車まで、私たちの暮らしになくてはならない存在になっている、エレクトロニクス製品に使われている半導体や電子部品。
IoT社会、5Gなどにより、ますます需要増が見込まれる半導体の製造現場には、品質面・機能面共に優れているスガツネ部品がおすすめです。

半導体製造 前工程にオススメ!パーティクル対策、SEMI規格準拠製品

豊富なラインアップ!SEMI規格準拠ハンドル

作業用手袋着用時でも握りやすい、コの字型ハンドル・掘込取手はもちろん、耐候性、耐薬品性、除電・抗菌効果のあるハンドルなど幅広くご用意。SEMI規格は複数の項目がありますが、当社はSEMI S8(半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン)に準拠したハンドルを取り扱っています。

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クリーンルームにオススメ!パーティクル対策に クリーンシリーズ!

クリーンヒンジ

クリーンヒンジ

通常のヒンジは軸部分が金属のため、開閉時の接触によって磨耗粉が飛散しますが、クリーンヒンジは摺動部に樹脂キャップを使用。金属粉・摩耗粉の飛散を防止しパーティクル発生を軽減します。
平蝶番タイプの他、抜き差し蝶番、トルクヒンジをご用意。クリーンルームの電子部品、液晶・ディスプレイ製造、精密機械の扉の使用にオススメです。

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クリーンマグネットキャッチ

クリーンマグネットキャッチ

クリーンヒンジと同様にクリーンルームで使えるマグネットキャッチです。従来のマグネットキャッチと異なり、マグネット部分を樹脂で包んでいるため、摩耗粉や錆が発生した場合でも外に漏れません。扉やパネルを保持したい場所での使用がオススメです。

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クリーンステー

クリーンステー

ステンレス鋼製クリーンステーLB-CV215Aは扉を開状態で保持するステーです。摺動部の樹脂パーツと樹脂カバーにより金属同士の接触による摩耗を防止し、金属粉が飛散しない構造です。

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クリーンファスナー

クリーンファスナー

掛代調整機能付のパッチン錠です。フック接触部に樹脂コーティングをほどこし、回転軸に樹脂ブッシュを使用しているため、金属同士の摩耗がなく、金属粉が発生しません。

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クリーンルームタイプの電動昇降装置

電動昇降装置

クリーンルームの規格ISO14644-1洗浄度クラス4相当の低発塵、クリーンルームタイプの電動昇降装置です。高耐荷重のため、セル生産台やコンベアの高さ調整にオススメです。

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その他オススメの製品

高耐久ウレタンローラー

高耐久ウレタンローラー・
ベアリング

亀裂・剥離に強い、高耐久性と耐磨耗性を兼ね備えたウレタンローラーです。さらに帯電防止機能付で静電気対策が可能です。

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オールステンレス鋼製スライドレール

オールステンレス鋼製
スライドレール

オールステンレス製なので、(静電気を発生させる乾燥対策で)湿度が高い室内でも、レールが錆びません。

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重量用ステンレス鋼製アジャスター

重量用ステンレス鋼製
アジャスター

高耐荷重のアジャスターSDYシリーズは耐荷重最大約10t!幅広いラインアップをご用意しています。

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半導体製造 後工程にオススメ!業務効率&安全性が向上する製品

パワーアシストステー

パワーアシストシリーズ

スプリング(バネ)の反力により、重い上蓋を軽く持ち上げられるステーとヒンジです。開閉時の作業者の負担を軽減することで安全性の向上はもちろん、誰でも操作しやすい装置をつくることで作業の効率化にもつながります。

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採用事例:チップマウンター
採用事例:チップマウンター

採用事例
チップマウンター


パワーアシストヒンジ HG-PA230型を採用いただきました。内側付けのため、カバーを閉じるとヒンジが見えません。

【課題解決】ガス抜けの心配が
なくなったチップマウンター事例詳細

2軸トルクヒンジ
HG-T70S30

2軸のフリーストップ機構により、傾き方向(チルト方向)と回転方向(スイベル方向)共に任意の角度を調整・保持(フリーストップ)できるトルクヒンジです。

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採用事例
はんだ付け装置のモニター部分


作業者に合わせてモニターの向きや傾きを調整できるのが好評です。

採用事例:はんだ付け装置のモニター部分
採用事例:はんだ付け装置のモニター部分
モーション デザインテック製品でちょっとした動きを快適に

モーション デザインテックとは、蓋・扉の開閉にさらなる動きを与えるスガツネならではの技術です。5つのなかから作業環境にあった動きを選べば、扉や蓋の操作性を向上し、作業環境や生活空間を快適にします。

その他オススメの製品

カムロックファスナー

カムロックファスナー

ねじやボルトに替わり、ワンタッチで取り外しできる締結金具です。扉にするほど開閉頻度が高くないメンテナンスパネルなどにオススメです。

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モニターアーム

モニターアーム

アームの剛性が高く、モニターの垂れやチャタリングが起きづらい仕様です。
摩擦抵抗により任意の位置でフリーストップします。

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アルミフレーム用アクセサリー&拡張パーツ

アルミフレーム用
アクセサリー&拡張パーツ

アルミフレーム専用設計で取付カンタン!組立時間を半減する金具など種類豊富にご用意!「部品で設備や作業スペースをもっと使いやすく」をご提案します。

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  • LAMP
    ●SEMI規格に準拠しています。●ハンドルの高さ・幅を広く取り、作業用手袋着用時でも握りやすいため、作業用のキャビネットなどに最適です。●MG-270Tが新たに加わりました。
    SUS316 のステンレス鋼または相当の材料を使用 SUS316 のステンレス鋼または相当の材料を使用 保持力試験実施 保持力試験実施
  • LAMP
    ●SEMI規格に準拠しています。(SEMI S8-0218 セクション6.8)●ボルトが動くため、取り付けしやすいです。
    耐荷重試験実施 耐荷重試験実施
  • LAMP
    ●手袋を着けたままでもつかみやすく、操作性に優れた、丸みのある優しいデザインの埋込取手です(SEMI規格、SEMI S8-0308に準拠)。●鉛フリーの塩化ビニル樹脂を使用し、耐候性、耐薬品性に優れています。
  • LAMP
    ●摺動部を樹脂キャップでカバーしているため、金属同士の接触による磨耗・金属粉の飛散を防止します。●扉開閉時、樹脂キャップが筐体に干渉しない形状です。●軽い接触などに際し、樹脂キャップがヒンジを保護します。●精密タイプはヒンジの羽根と樹脂キャップ、軸のクリアランスが少ない仕様です。
  • LAMP
    ●摺動部に樹脂キャップを装着しており、金属同士の磨耗がないため金属粉が飛散しません。●抜き差しが可能なので、扉の脱着が簡単です。●扉開閉時、樹脂キャップが筐体に干渉しない形状です。●軽い接触などに際し、樹脂キャップがヒンジを保護します。●丸穴、長穴からお選びいただけます。
  • LAMP
    • フリーストップ
    ●摺動部を樹脂キャップでカバーしているため、金属同士の接触による磨耗・金属粉の飛散を防止します。●軸の向きを水平・垂直にして使用できます。
  • LAMP
    マグネットを樹脂で包んでいるため錆に強く、水回りに最適なマグネットキャッチです。●クリーンルームには、受座 MC-JM49(別売)との組み合わせが最適です。
  • LAMP
    ●扉を開状態で保持するステーです。開時保持位置から全開位置まで扉を持ち上げると解除します。●摺動部の樹脂パーツと樹脂カバーにより金属同士の摩耗を防止し、金属粉が飛散しにくい構造です。
    左右勝手兼用 左右勝手兼用
  • LAMP
    ●フック接触部に樹脂コーティングをほどこし、回転軸に樹脂ブッシュを使用しているため、金属同士の摩耗がなく、金属粉が発生しません。
    SUS316 のステンレス鋼または相当の材料を使用 SUS316 のステンレス鋼または相当の材料を使用
  • ●ISO14644-1洗浄度クラス4相当の低発塵です。●推力3000 Nです。●3つのユーザーコードにそれぞれ2ヶ所で高さを登録できます。●側面の黒い樹脂カバーを外すと溝があり、補強バーなどの部品を取り付けできます。●伸縮の最終位置でリミットスイッチが働き、電源が切れる安全設計です。●別注で推力1000 N(最大上昇速度16 mm/秒)もご用意できます。●剛性が高く、垂直荷重、偏荷重に強い構造です。●PLC接続も可能です。(オプション品のPLCインターフェースQZD070690型が必要)
  • POWERMAX
    • 受注対応品
    ●亀裂・剥離に強い、高耐久性と耐磨耗性を兼ね備えたウレタンローラーです。●帯電防止機能付(電気抵抗値10(6)〜10(9)Ωcm)もご用意できます。●お客様ご要望のローラーをコアから製作できます。(ロット4ヶ〜)●お客様支給のコア(芯金・軸)へのライニングも可能です。
  • LAMP
    ●高さが35.3 mmのステンレス鋼製スライドレールです。
  • LAMP
    • フリーストップ
    • 弊社2万回開閉試験クリア
    ●2軸のフリーストップ機構により、傾き方向(チルト方向)と回転方向(スイベル方向)共に任意の角度を保持できます。●回転方向(スイベル方向)は360°回転します。●ねじ・ピンで回転、傾き角度を規制できます。(ねじ・ピンはお客様にてご用意ください。) 規制後の開閉角度  :傾き方向(チルト方向)・・・0°〜120°  :回転方向(スイベル方向)・・・±30°、±90°
    • フリーストップ
    • 弊社2万回動作テストクリア
    ●アームの剛性が高いため、タッチパネル・モニター操作時のチャタリング(微振動によりON・OFFを繰り返す誤動作)が起きづらい仕様です。●チルト方向とスイベル方向に任意の位置でフリーストップします。●補助ロックのレバー操作により、任意の位置で補助ロックがかかるので、微振動によるモニターの垂れ下がりを防止します。●万が一、補助ロック時に強い負荷がかかっても、補助ロックが一時的に外れる破損しにくい構造です。●ワンタッチで着脱できます。
  • ●ロックおよびロック解除ともに、プラグの頭を押すだけのワンタッチ操作です。●ロック時にプラグの頭が誤解除防止のためフラットになります。ロックおよびロック解除する際は、先のとがったもので押してください。●パネルの開閉が迅速・簡単にできます。●カムでロックしているため、振動で外れにくい構造です。●オールステンレス鋼製のため、耐食性に優れています。
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